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【隠れた世界企業】台湾市場制した洗浄装置

エクサ(埼玉県ふじみ野市、半導体製造関連装置の製造・販売)

  • 神農 将史

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2010年2月4日(木)

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半導体製造装置部品を洗浄する装置で台湾市場占有率9割を誇る。ITバブル崩壊、リーマンショックと2度にわたる経営危機を新製品開発でしのいだ。今は太陽電池ウエハー洗浄装置に開発の照準を絞り、第3の柱の育成に注力する。

 半導体大国の台湾市場で、ある装置のシェアを9割占める企業がある。埼玉県ふじみ野市に本社を構えるエクサだ。その製品は「石英管洗浄装置」。半導体製造で使われる、「石英管」というガラス管の一種を自動で洗浄する。

 インゴットと呼ばれる円柱状のシリコンを薄くスライスしたウエハー。石英管は、そのウエハー表面に絶縁体となる「酸化膜」を作る工程で欠かせない。不純物がほとんど入っていないガラス管で、1本当たり数百万円はするため、丁寧に洗浄して繰り返し使う。

 以前は2人がかりの手作業で洗っていたが、2000年前後を境に、機械化が進んできた。

 当初は大型の半導体製造装置の「付属品」のような形で製造されるケースが大半で、利益が確保できる商品とも思われておらず、主力商品に据えるメーカーはほとんどいなかった。

綱島共平社長と石英管洗浄装置。ケース内のフックに石英管を載せて下部の薬液槽に浸ける (写真:的野 弘路)

 そんな中、エクサは石英管洗浄装置専業という特殊な業態で1998年にスタートした。設立メンバーは半導体製造装置メーカーで働いていた同僚の8人。設計、製造、営業など、各々が得意分野を持ち寄っての創業だった。そして、「自分が一番機械に疎い」と笑う綱島共平社長は経理出身だ。

 石英管洗浄装置だけでやっていけると踏んだものの、創業したてで実績がないエクサは、受注に苦労する。東京ディズニーランドのパレードで使う台車の製造など、本業と関係ない仕事をどうにか見つけてきて糊口をしのぐ日々が1年ほど続いた。

専業メーカーとして独壇場

 風向きが変わったのが、ある台湾の半導体メーカーからの発注だった。綱島社長らが独立に踏み切った背景には、勤めていた会社の経営状態への不安があった。彼らの退社後まもなく、その不安は的中し、倒産してしまった。そこの取引先だった企業が、エクサを探し当てて話を持ってきたのだ。

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