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DOWAエレクトロニクス、出力トップ水準の深紫外LEDチップ開発、王子HDの技術を適用

 DOWAエレクトロニクスは、樹脂硬化や皮膚治療向けの中心波長310nm(ナノメートル)=1nmは100万分の1mm=帯で出力トップ水準の深紫外LED(発光ダイオード)チップを開発した。同社はDOWAエコシステムを中核にするDOWAホールディングスの子会社で、電子材料を手掛ける。王子ホールディングスの微細加工技術を適用した。省電力が可能になる。

 深紫外は短い波長の紫外線の一種を意味し、波長によって殺菌、浄水用などに使われる。開発したのはコーティング用樹脂の硬化や皮膚治療を用途にする1mm四方のLEDチップで、90mWの出力がある。従来光源の水銀ランプをLEDに置き換えることで、水銀フリーや設備の小型化が実現する。省電力・長寿命を生かした用途展開も期待できる。

 独自技術で量産体制を構築している殺菌波長帯280nmの深紫外LEDチップ技術を310nmに応用した。280nmチップもトップクラスの出力がある。今回その技術を基に、王子の微細加工技術を適用したサファイア基板を使って、発光効率を向上させた。自社の従来比で出力を20%高め、世界トップレベルを達成した。4月の量産開始を予定している。

 王子は、微細加工技術を活用した微細構造体付きのサファイア基板を深紫外LEDチップに導入し、光取り出し効率を向上させた。このLEDチップによって、310nmの深紫外で求められていた高出力、設備の小型化や省電力のニーズに応える。DOWAエレクトロニクスは次世代製品の特性向上と生産体制の効率化を進め、半導体事業の拡大を図る。

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